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Taiwan Minimal Fab Showcase

由日本AIST與超過三百家民間企業。

歷時七年共同合作開發一系列半導體製程與多種化合物基材之製程設備。

也就是Minimal Fab的誕生。

Minimal Fab打破了不需無塵室環境的條件。

Lead Time甚至大幅縮減至只需數天甚至數小時/低能源損耗/各站點設備尺寸一致等皆為Minimal Fab的優勢。

目前Minimal Fab實績為成功開發超過70餘台，

從半導體各段製程RCA→曝光(無需光罩直寫技術)→顯影→蝕刻→爐管→濺鍍→PE-CVD→SEM等製程，

Minimal Fab皆可做到!

 

既2018年 Semicon Taiwan參展，金屬工業研究發展中心完成了迷你晶圓試作的案子，

這個開端築起了台灣與日本前端半導體Minimal Fab的橋梁。

於今年6/13(四)又將譜出Minimal Fab半導體序曲!

由AIST/JAXA/国立沖繩高專/ Yokogawa Solution Service等日本半導體及特殊基材化合物先驅研究學者們，

即將在台灣竹北的台元科學園區內，

舉辦Minimal Fab半導體的講座以及與台灣半導體相關企業人員們做學術交流。

 

AIST : 国立研究開発法人産業技術総合研究所

https://unit.aist.go.jp/kyushu/minimallab/index.html

JAXA : 宇宙航空研究開發機構

http://www.jaxa.jp/

MIRDC 財團法人金屬工業研究發展中心

https://www.mirdc.org.tw/index.aspx

Yokogawa Solution Servive: 橫河電機株式會社

https://www.yokogawa.co.jp/industries/ssd/minimal-fab/

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